蔡司三坐标丈量机在维护养护流程之中感受以下几个方面情形理应引起特殊注重，，，，，，，这也是各人在应用蔡司三坐标丈量机的流程之中的许多履历和教育。。。。。。。。
　　1、空气压力和质量
　　蔡司三坐标丈量机一样平常是应用气浮轴承，，，，，，，运作的小气压应是0.45兆帕斯卡。。。。。。。。在事情上应维护气压在0.5-0.8兆帕斯卡相互之间，，，，，，，才可以确保它的优异运作。。。。。。。。纵然有时气压在0.45兆帕斯卡装备也可以运作，，，，，，，但应在意到X、Y、Z在运作流程之中气压会泛起损害，，，，，，，那样气浮块的间距小，，，，，，，若是气浮块中有粉尘或细微微粒，，，，，，，会使导轨刮伤，，，，，，，较量严重时滋扰丈量精度或生产制造成三轴运作卡死。。。。。。。。
　　2、导轨的洗濯和光栅的养护
　　导轨维护清洁，，，，，，，要求应用泡浸过清洁航空汽油或工业乙醇的脱脂棉或丝绸布来洗濯;在装、卸零部件时要特殊注重，，，，，，，阻止碰撞导轨。。。。。。。。

　　光栅尺的养护直观滋扰读值的准确度，，，，，，，Z轴光栅尺外露在外界情形中，，，，，，，而X和Y向光栅尺被外护盖。。。。。。。。因此要格外特殊注重Z轴光栅尺，，，，，，，阻止划痕。。。。。。。。应用泡过清洁航空汽油丝绸布来洗濯，，，，，，，让光栅尺干燥。。。。。。。。
　　3、过滤器的洗濯
　　要准时洗濯过滤器，，，，，，，当察觉过滤器的滤芯泛起变色，，，，，，，就得洗濯。。。。。。。。取下塑料杯、过滤网，，，，，，，用中性清洁剂（各人用四氯化碳溶液）洗濯，，，，，，，再应用清洁的气体吹干。。。。。。。。重新最先安上后，，，，，，，准确丈量事情压力，，，，，，，有须要就调解它。。。。。。。。
　　4、电控系统的维护
　　电控系统是蔡司三坐标丈量机的要害部位，，，，，，，应当算是较为稳固的，，，，，，，但不允许被忽略对它的检测和维护。。。。。。。。恒久应用，，，，，，，许多接口、插片有可能脱落。。。。。。。。有一次各人察觉，，，，，，，在开机以后，，，，，，，坐标轴“Home”时犯过失警报，，，，，，，清审查觉原来是接口脱落生产制造成的。。。。。。。。