光栅尺作为三坐标丈量机的丈量基准，，，，，，光栅尺的膨胀系数及其误差起着主要的影响。。。。。。制造光栅尺的质料通常为：金属、玻璃或玻璃陶瓷。。。。。。这些质料的膨胀系数可在资料中查阅。。。。。。可是，，，，，，差别的资料所给出的数值却相差很大。。。。。。

　　光栅尺要作为三坐标丈量机膨胀误差赔偿盘算的基础，，，，，，这些数据的用处很是有限。。。。。。如下面针对“钢”所作的例子所示，，，，，，当盘算所接纳的膨胀系数禁绝确时，，，，，，仅仅几度的温度转变就会造成数微米的丈量误差。。。。。。通常都在已知、准确界说的情形中事情。。。。。。此时丈量机的性能很洪流平上由所使用的光栅尺的信号质量和精度决议。。。。。。那么改怎样选择合适的三坐标丈量机光栅尺呢？？？？？？？

   推荐的是：玻璃陶瓷光栅尺   德国蔡司品牌

   德国蔡司三坐标都接纳玻璃陶瓷光栅尺，，，，，，高精度的代表。。。。。。

     玻璃陶瓷（微晶玻璃），，，，，，一种顶级的高科技质料，，，，，，具有玻璃与陶瓷的双重特征，，，，，，其独到的不受温度影响的物理特征，，，，，，可运用于天文望远镜的主镜及副镜上，，，，，，提供优异的热平衡顺应性能，，，，，，更因其物理性子稳固可加工出极佳的光学外貌。。。。。。

天文装备 泉源：肖特科技

除此之外，，，，，，该质料亦应用于与芯片集成电路纳米级生产相关的步进扫描光刻机及蔡司三坐标坐标丈量机等领域所需的直线光栅尺基体质料。。。。。。

步进扫描光刻手艺 泉源：蔡司

直线光栅尺，，，，，，作为丈量系统是蔡司三坐标坐标丈量机的主要组成部分，，，，，，于设计坐标丈量机时，，，，，，选择适合的光栅尺基体质料，，，，，，关于提升丈量机恒久的精度稳固性及性能很是要害。。。。。。

            蔡司三坐标坐标丈量机三轴配备光栅尺（图示31\41\51）泉源：蔡司

热胀冷缩为质料的通例物理特征，，，，，，20℃为目今国际计量标准所划定的基准温度，，，，，，偏离该温度将导致质料长度的转变，，，，，，而计量实验室一样平常使用时难以恒久包管20℃的理想条件，，，，，，因此，，，，，，光栅质料的热膨胀系数CTE不可忽略，，，，，，

玻璃陶瓷光栅尺有用消除丈量误差的影响，，，，，，即便于较大温度规模条件下，，，，，，线性热膨胀系数CTE仍最大化靠近于零，，，，，，其优点在于：

无需举行温度赔偿

无需温度传感器，，，，，，更小化误差

光栅尺热膨胀系数的丈量不确定度及温度丈量误差是系统丈量误差的主要泉源，，，，，，以500mm光栅尺为例, 22℃条件下（详看下图），，，，，，钢基体光栅尺热膨胀系数的不确定度（紫）达0.5um,温度丈量误差（绿）亦达0.58um,两者的综合影响不可消除及忽略，，，，，，接纳ZERODUR玻璃陶瓷基体直线光栅尺，，，，，，热膨胀系数的不确定度小至0.05um,由于其热膨胀系数为零，，，，，，更无需特另外温怀抱测及赔偿，，，，，，恒久精度准确及稳固性更佳。。。。。。

光栅尺基体质料误差比对 泉源：外洋资料

因此，，，，，，蔡司三坐标丈量机的性能很洪流平取决于直线光栅尺的热膨胀系数，，，，，，是决议精度的要害要素之一，，，，，，玻璃陶瓷光栅尺已于高精度桥式丈量机工业中得以普遍应用，，，，，，其恒久耐用性亦获得业界的一致认可。。。。。。