蔡司三坐标丈量仪作为一种高细密丈量仪器，，，，，主要是将被丈量与尺怀抱举行较量，，，，，并将较量效果用数值体现出来。。。。。。。。坐标丈量机需要三个偏向的三个标准仪器(标尺)，，，，，可以使用导轨沿响应偏向移动，，，，，还需要三维测头对被测物体举行检测和瞄准。。。。。。。。另外，，，，，丈量机具有数据处置惩罚和自动检测的功效，，，，，需要通过响应的电气控制系统和盘算机软硬件来实现。。。。。。。。
蔡司三坐标丈量仪可分为主机、测头和电气系统三部分。。。。。。。。
主机结构分为：
1.框架是指丈量机的主要机械结构架。。。。。。。。它是事情台、立柱、桥架、外壳等机械结构的荟萃。。。。。。。。
2.标尺系统是丈量机的主要组成部分，，，，，是决议仪器精度的主要环节。。。。。。。。CMM中使用的标尺有直线尺、细密丝杠、感应同步器、光栅尺、磁尺、光波波长。。。。。。。。该系统还应包括数字显示电气装备。。。。。。。。
3.导轨是丈量机实现三维运动的主要部件。。。。。。。。丈量机多接纳滑动导轨、转动轴承导轨和气浮导轨，，，，，气浮静压导轨是主要形式。。。。。。。。浮动导轨由导轨体和气垫组成，，，，，部分导轨体和事情台合二为一。。。。。。。。浮动导轨还应包括气源、稳压器、过滤器、气管、分流器等一套气体装置。。。。。。。。
4.驱动装置是丈量机的主要运念头构，，，，，可实现无邪和程控伺服运动功效。。。。。。。。丈量机上常用的驱动装置有螺母、滚轮、钢丝、齿形带、齿条、光轴滚轮等。。。。。。。。和由伺服电机驱动。。。。。。。。直线电机驱动越来越多。。。。。。。。
5.平衡组件，，，，，主要用于Z轴框架结构。。。。。。。。它的作用是平衡Z轴的重量，，，，，使Z轴上下运动无误差无滋扰，，，，，检测时Z向力丈量稳固。。。。。。。。若是装置在Z轴上的探头被替换，，，，，平衡力应重新调解以抵达新的平衡。。。。。。。。Z轴平衡装置包括重锤、发条或弹簧、气缸活塞杆等。。。。。。。。
6.转盘和配件。。。。。。。。转台是丈量机的主要组成部分，，，，，它增添了丈量机的旋转自由度，，，，，利便了某些种类零件的丈量。。。。。。。。包括分度事情台、单轴转台、万能转台(两轴或三轴)和数控转台等。。。。。。。。凭证需要，，，，，蔡司三坐标CMM有许多附件。。。。。。。。一样平常指自检用的基准水准尺、直角尺、步距规、标准球(或立方体)、千分尺和细密试样。。。。。。。。