有人一经说过："若是我想获得准确的尺寸，，，，，我就把被测样品交给SEM操作员。。。。。。。蔡司署理4466.com仪器小编先容，，，，，蔡司SEM扫描电镜是一种高细密丈量仪器，，，，，人们经常想虽然地以为它是准确的，，，，，所爆发的任何丈量值也是准确的。。。。。。。在已往的几年里，，，，，SEM的丈量精度有了极大的提高，，，，，CD-SEM也已经成为半导体加工生产线上监控制造历程的主要工具之一。。。。。。。可是，，，，，事实照旧会被掩饰，，，，，我们必需小心审慎。。。。。。。
间距丈量
若是我们将两条线脱离一定的距离，，，，，那么丈量第一条线的前缘到第二条线的前缘的距离就界说了间距或位移。。。。。。。间距丈量中的一些系统误差(由于振动、电子束相互作用效应等)在两个前缘上都是相同的;这些误差，，，，，包括试样与电子束相互作用的影响，，，，，被以为是可以忽略的(Jensen，，，，，1980;Postek，，，，，1994)。。。。。。。因此，，，，，与边沿相关的误差有相当大的一部分不在用于盘算间距的等式中。。。。。。。乐成丈量的主要标准是丈量的两条边沿必需在所有方面都相似。。。。。。。
平均多条线可以最洪流平地镌汰校准样本中边沿效应造成的影响。。。。。。。使用准确的间距标准可以轻松完成SEM放大校准。。。。。。。RM8820有许多间距结构可用于此历程;可凭证要求提供盘算间距的软件程序(Postek，，，，，2010 )。。。。。。。
宽度丈量
任何纳米结构、纳米粒子或半导体线路的宽度丈量都很重大，，，，，由于上述的许多系统误差现在都是相加的。。。。。。。因此，，，，，在丈量中还包括来自两个边沿的边沿检测误差。。。。。。。SEM的放大倍率不应校准为宽度丈量值。。。。。。�？？？？？ ？矶日闪炕峤庑┪蟛罴釉谝黄穑�，，，，导致丈量不确定性增添。。。。。。。
别的，，，，，由于电子束-样品的相互作用效应差别，，，，，这些误差也因样品而异。。。。。。。使丈量越发重大的是，，，，，每台SEM都会因操作条件和电子网络特征而爆发其特有的仪器效应。。。。。。。现实上，，，，，通过这种丈量要领，，，，，我们并不知道图像中边沿的准确位置，，，，，更主要的是，，，，，不知道它是怎样随仪器条件而转变的。。。。。。。