蔡司扫描电镜ORION NanoFab离子束扫描电子显微镜拥有纳米加工和成像引擎 - 配有集成软、硬件的控制系统。。。。。。。
纳米图形爆发器(NPVE)为每个 NanoFab 镜筒提供了一台 16 位扫描图形爆发器,,,,,,以及支持实时图案加工和成像的双信号收罗硬件。。。。。。。
通过图形化用户界面(GUI)完全控制离子束:可建设一系列可编辑的形状,,,,,,如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。。。。。。。
然后,,,,,,对这些形状举行矢量切割,,,,,,并通过剂量和加工参数的调理举行完全的历程控制。。。。。。。